1. 高分辨率	搭载纳米微焦X射线发生装置 铍金属高精细X射线荧光倍增管
2. 高清晰度	搭载400万像素摄像头
3. 高画质	采用4K 显示器
4. 倾斜・旋转时视野中心自动追踪
5. Lamino CT (倾斜CT)
6. 正交 CT　–可选择

焊线	焊线扩大	BGA扩大

Ｘ射线发生装置	透过开放型
管电压/管电流设定(最大）	160kＶ/200μＡ
Ｘ射线焦点尺寸	0.25μm
Ｘ射线检测器	高精细铍金属X射线I.I.(4/2英寸）*1
摄像头有效像素	400万像素
输出浓淡度	16bit
X射线几何倍率	2000倍（理论值）
机构部	6轴（倾斜・旋转型）
试验台X/Y行程范围	300mm×300mm
试验台旋转行程范围	０°～360°（水平旋转）
倾斜行程范围(X射线检测器)	０°～60°
视野追踪功能	倾斜・旋转时视野中心自动追踪功能
显示范围调整功能	自动调整功能/手动操作
Lamino CT（倾斜 CT）	CT 数据收集（任意倾斜角度）
观察窗	铅玻璃
外型尺寸	检查室：约W1600×D1600×H2000mm
	操作面板：约W1600×D800×H750mm (台子高度)
泄漏射线量	１μＳv/h以下
用途	高密度基板，各种电子部品 等

* 1:Ｘ射线 I.I.（Ｘ射线荧光倍增管）

CT 功能	规格
正交CT（锥形束CT)	正交 CT装置（试验台交换方式）

测量功能	焊锡湿性, 焊线流向, 2 点间尺寸 , 空洞计算, BGA空洞率测量
解析功能	疑似颜色, 轮廓,柱状图, 3D显示

　

1. 搭载新开发的微焦开放管。灯丝实现原有的约3倍寿命（和本公司比）。

2. 搭载了TOSMICRONｰS系列共通的高性能软件和高速・高精度机械。实现舒适操作性和高性能。

3. 通过最大60°的检测器倾斜、可从倾斜方向透视。标准装备了通过同步追踪可修正追踪功能。

4. 大型样品台（600×350mm）可对应。

1. IC电子元件的高放大检查

2. 表面封装元件的接合部检查

3. 小型精密元件检查

同步追踪法 即便倾斜也能维持放大率・图像亮度。

主要规格
型号	TOSMICRONｰS5110IN
X射线发生装置	开放管，最大110kV，200μA，公称最小焦点3μm
检测器	4/2英寸I.I.
最大放大率（样品台面）	约525倍
倾斜功能	检测器倾斜0～60°
样品台尺寸	X410mm×Y360mm（有效摄影范围350×300mm）（标准型号）
	X600mm×Y350mm（加大型号）
装置外形尺寸（本体）	W1150×H1670×D1430mm(标准型号）

1. 搭载TOSMICRON-S系列共通的高性能软件和高速・高精度机械。实现舒适的操作性和高性能。

2. 大型样品台（600×350mm）可对应。

3. X射线管可选90kV、130kV共2种(密封管)。

4. 硬盘的2重化提升信赖性。

1. IC・电子元件的检查

2. 封装元件的焊锡检查

3. 小型精密元件的检查

IC的Bonding线	封装的芯片电容

主要规格
型号	S4090IN	S4130IN
X射线管型号	密封管
X射线规格	90kV,5μm	130kV,5μm
检测器	4/2英寸II.
样品台尺寸	410×360mm(有效摄影范围350×300mm)(标准)
	600×350mm(加大样品台)
外形尺寸(本体)	W1150×H1790×D1095mm

方便现场使用的封装基板检查用机型。运用了东芝的X射线传感技术，最适合封装基板的焊锡检查的系统。能得到BGA和元件焊锡状态等的鲜明的X射线图像。此外、优越的用户界面可进行简单有效的检查。

1. 搭载无需维护的密封管型微焦X射线发生装置

2. 搭载了可得到高图像表现能力、无几何形变的鲜明的图像的平板传感器检测器

3. 通过倾斜摄影可从倾斜方向观察

4. 搭载BGA空洞测量软件

5. 通过PC画面可进行全部操作的用户界面

6. 不用挑选设置场所的简约设计

机型	TOSMICRON-CH4090FD
X射线发生装置	90kV　200μA
焦点尺寸	5μm
X射线检测器	FPD
最大放大率	约160倍
样品台尺寸	400mm×350mm
外形尺寸	1050mm(W)×1050mm(D)×1430mm(H)
质量	约620kg

100kV小型焦点X射线可检查各种样品

1. 方便生产线现场使用的立式机型

2. 直观易懂的面板操作

3. 新开发的画质改善软件可得到简单鲜明的图像

4. 样品便于送入取出的样品仓门

1、IC封装内部检查：	芯片的润湿性、封装空洞、Bonding线
2、封装印刷基板：	焊锡检查（BGA、CSP、芯片元件）
3、电池、电解电容：	电极构造检查
4、陶瓷、塑料、金属元件：	空洞、裂缝等的检查

电解电容	铝零件（空洞）

型　号	TOSMICRON-C3100IN
管电压范围	40～100kV
最大管电流	0.83mA
焦点尺寸	100μm
X射线检测器	X射线I.I. 4"/2"
显示放大倍率	约27倍max.
样品台	有效250×330mm
检查位置匹配	激光光标
外形尺寸	W972.5×H1730×D1170mm
	W700×H1730×D950mm（检查室本体）
质量	约500kg
选项	2轴样品旋转装置　・打印机