如何发挥形状搜索Ⅲ的潜力?
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如何发挥形状搜索Ⅲ的潜力?
登录正确模型,确保稳定检测
高精度
-低对比度、散焦、背景变动、工作距离变动
散焦或尺寸变动发生时
模型登录标签的尺寸变动、光罩尺寸、测量参数标签的多输出设定
设定点:散焦或尺寸变动发生时
重新设定模型标签!
有多个检测对象、对比度低时
模型登录标签的光罩尺寸、测量参数标签的重叠判断、边缘等级的设定
设定点:多个对象,低对比度
-需要设定模型登录参数与测量参数
-低对比度时判断光罩尺寸与测量参数的边缘等级,多个对象密集存在时判断重叠
超高速
-为了最大限度高速化(0.5 ms-)
为了实现高速化……
高速校准模式、备选点等级、高精度模式、边缘等级的设定
设定点:希望实现高速化时
-设定点:模型登录及测量参数
-与检测率或位置推测精度之间相互影响的情况很多,因此需要确认