单晶炉设备

单晶炉设备

    以高纯度多晶硅为原料在单晶炉中被熔化为液态在单晶种（籽晶） 上结晶而成，且晶体的原子和分子以同一方向（晶向）周期性地整 齐排列。

课  题

    单晶在生长过程中需要对晶棒的尺寸实时测量，实时把测量数据反馈给控制系统。“引晶”测量精度±20um，“等径”测量精度±50um

解决方案

    搭载200万像素相机的FZ3，运用OMRON特有的“圆弧搜索”功能测量“引晶”、“放肩”工艺，采用“边缘搜索”功能测量“转肩”、“等径”工艺。