清洗湿制程设备

清洗湿制程设备

    电池片在生产过程需要用化学品对硅片清洗，及湿制程设备中用到大量的化学品。

课  题

    化学品的渗漏可能会造成严重的危害。为了消除风险，并迅速恢复到正常的状况，必须尽快找到泄漏源。

解决方案

    K7L可以检测纯水和化学品的渗漏。最高被检测液体灵敏度阻抗高达50MΩ。K7L-UD最长可连接600米检测带,并可以检测出具体渗漏位置。

课  题

    防止清洗槽中的化学品溢出，需要对化学品溢位检测。

解决方案

    E2K-L检测原理是静电容量方式，不受管道、液体颜色的影响。安装于导管上。可安装于φ8～ 11mm、φ12～26mm和多种管道直径。放大器内置型，节省安装空间。