电池片倒角

电池片倒角

    当切片完成后，硅片有比较尖利的边缘，就需要进行倒角从而形成 子弹式的光滑的边缘。倒角后的硅片边缘有低的中心应力，因而使之更牢固。这个硅片边缘的强化，能使之在以后的硅片加工过程中，降低硅片的碎裂程度。

课  题

    边缘倒角后，对其表面段差或倾斜等情况进行测量和检查，希望不良品不要流入接下来的层压工段，提高良品率

解决方案

    使用可测量形状的2维形状ZX-GT传感器，可测量倒角后的表面情况。ZX-GT可以做模拟 量信号输出控制系统根据ZX-GT输出信号控制倒角工作。