洗净工艺

洗净工艺

    玻璃清洗就是通过水和化学品清洗附着在基板上 的有害物体，然后热风干燥。欧姆龙Lonizers可以 用于烘干后进行进行带电离子消除。

课  题

    机械传感器会损坏玻璃，普通的光学传感器由于在水及化学品的环境下很难检测。

解决方案

    欧姆龙E32-L11FP系列传感器头材料采用氟材质，能够在水和化学品的潮湿环境中很好的检测玻璃。

课  题

    微粒和灰尘存在于蒸气室中，可能造成沉积不均匀，带电离子甚至可能造成电击导致玻璃破裂。

解决方案

    欧姆龙ZJ-BAS以混合、可变式DC方式消除带电离子，内置高精度的离子平衡感应器，ZJ-SD直接显示带电量。

课  题

    玻璃基板在机械手臂运动情况下，基板可能会滑出。为了安全，需要安装一个传感器来检测玻璃基板是否滑出CASSETTE。

解决方案

    玻璃滑出检测：

    E3C激光同轴回归反射型传感器检测每块玻璃是否在同样的位置，整个测量长度1000mm，可以覆盖CASSETTE的距离，不会发散，也可稳定可靠的检测透明玻璃。

课  题

    需要检测玻璃边缘,快速并准确的将透明玻璃定位。

解决方案

    玻璃基板校准：

    欧姆龙ZX-GT采用CCD检测方式，能够快速的通过玻璃边缘检测来定位透明玻璃。ZX-GT通过PC进行软件设置和监视。